干式真空泵串气怎么办

干式真空泵是一种利用旋转运动的叶轮将空气压缩并排出真空系统的装置，其工作原理类似于离心风机，所以也被称为“旋风真空泵”。干式真空泵作为一种高效稳定的真空工艺设备，已经在许多领域得到了广泛的应用，例如半导体制造、航空航天、医疗技术等。在使用干式真空泵的过程中，可能会遇到一些问题，其中串气就是比较常见的一种。本文将介绍干式真空泵串气的问题以及解决方法。

什么是干式真空泵串气？

干式真空泵串气，又称为干式真空泵内部泄漏，指的是真空泵排气到真空系统中的气体排不干净，部分气体通过真空泵回流到泵的高压端或进气端，从而影响真空泵的抽气效率和真空度。干式真空泵串气通常是由于真空泵与其他系统之间没有良好的隔离而引起的，包括接口设计不良、密封不当、泵筒材料选择不合适等。

怎样检测干式真空泵串气？

在实际工作中，检测干式真空泵串气的方法多种多样，如使用测试仪器进行泄漏测试、观察真空度变化等。最常用的方法是利用漏气测试器或氦质谱检测仪进行泄漏检测。使用漏气测试器时，需在真空泵入口处贴上碳纤维薄膜或橡胶密封垫圈，然后向真空泵内部注入干燥氮气，最后测量干燥氮气的流量。若流量较大，则说明真空泵存在泵内泄漏现象。而氦质谱检测仪则是将氦气注入到被检测系统中，然后利用电子倍增器检测氦气的信号，通过信号变化来确定漏口的位置。

怎样避免干式真空泵串气？

正确选择干式真空泵的材料和制造工艺：合理选择材料和工艺可有效减少干式真空泵的串气情况。在制造竖轴干式真空泵时，可选择低膨胀系数的高分子合成树脂或高强度钨合金材料制造泵筒，避免塑料泵筒膨胀产生泵内泄漏问题。

优化干式真空泵的设计：设计合理的进气口和出气口可以有效降低泵内泄漏问题。合理的进气口和出气口设计还可以增加干式真空泵的抽气速度，增加抽气效率。

保持系统良好的密封状态：在干式真空泵连接系统过程中，应保证系统的密封性。在进行焊接接口时，应对接口的焊缝进行检测和修补，保证接口的完全密封。若发现系统连接处有泄漏，则应及时进行维修或更换部件。

定期检查和维护：定期检查干式真空泵的运行状态，及时清洗和更换积灰滤网等老化机件，以保证干式真空泵的正常运行及最佳抽气效率。

干式真空泵串气问题可以通过进一步优化真空泵的设计、选择合适的材质、保持系统良好的密封状态及定期检查和维护等方式来降低和避免。尽管干式真空泵串气情况较为常见，只要我们注意加以预防和处理，将避免对我们的研究和生产带来不良的影响。